3 januari 2024

Physical Vapour Deposition (PVD) is een brede term die verwijst naar een verscheidenheid aan dunnefilmdepositietechnieken waarbij een vast materiaal in een vacuümomgeving wordt verdampt en vervolgens op een doelsubstraat wordt afgezet. Werkwijzen die worden gebruikt bij PVD-processen omvatten, maar zijn niet beperkt tot, verdamping (thermisch, elektronenstraal), sputterafzetting en boogdampafzetting. Gekarakteriseerd